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耀群科技所代理美国HACH ULTRA (Pacific Scientific Instruments)- Particle Counter（微粒子计量器）的兴趣。
以下几点资料作为您评估了解 Particle Counter的参考;监控无尘室, Facility Monitoring System (FMS)全厂微粒子中央监控系统,空调环境,cGMP药厂,外科手术房,空气清净机,滤网, 表面, 真空 / DIW纯水/chemical 微尘粒子Particle Counter量测工程
1.美国HACH ULTRA (PSI)是全世界第一家也是目前最大的微粒子侦测系统供应商,1960成立至今已有40年以上的历史,旗下包括MetOne , ROYCO, HIAC, HYT四个部们,分别供应无尘室,高压气体,Hepa/Ulpa泄漏量测及中央监控系统(FMS), DIW纯水系统, 化学品, 高粘度光阻及各式油品含润滑液溶剂,真空制程设备,有关Particle量测,NEBB代测, 租借, 校正等专业相关的服
务。
2.HACH ULTRA 在全世界除了各知名大厂都是我们的客户外–在台湾的客户群有台积,联电,华邦,力晶,茂德, 茂矽,南亚科技,通用电子, 碧悠,元太,翰宇彩晶,友达光电,广达/广辉,奇美,胜华,胜开,中华映管, 铼德/铼宝, 台湾凸版,瑞仪光电,夏普,日月光, 志圣工业, 氰胺,生达,中化, 永日化学,永信制药, 勇博工程,九合工程, 龙泰无尘洗衣, 东利眼镜, 中科院, 工研院,工研院量测中心, 华航,航发中心, 核能厂, 国防医学院,台大医院, 安丽, 工研院能资所, 优加利等等超过600台以上, 涵盖所有产业。
3.耀群科技在台湾竹北, 台南, 中国上海有完整的校验维修中心, 所有服务应用工程师都接受HACH ULTRA原厂受训并取得证书外, 更有一位原厂常驻台湾的资深应用人员Bob Latimer在耀群公司直接提供 PSI原厂技术支援, 维修校正的服务, 这是其他提供Particle Counter公司所没有的。相信对贵公司未来在Particle所造成Defect防制上有更大的助益。
4.耀群科技除了代理Particle Counter之外, 还有
a. 美国Pentagon Technologies 的Surface Particle Detector 应用于设备机台(
PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) 及进料检验 表面微尘粒子Particle量测。
b. 美国DUKE Scientific Corporation提供符合NIST的标准微粒子试剂。
c. 热线式风速计, 温溼度计, 照度计, 噪音计等监控无尘室相关测试仪器
耀群科技目前所专业代理服务的产品如下：
A.美国HACH ULTRA ANALYTICS是全世界最大的微粒子侦测系统Particle Counter供应商，品牌包括MetOne、ROYCO、HIAC、HYT，
分别供应无尘室class1~10K、室内空气品质、高压气体、Hepa/Ulpa泄漏量测及监控系统(FMS)、DIW系统、化学品、
高粘度光阻及各式油品含润滑液溶剂、真空制程设备CVD, Ion Implanter, Furnace, Plasma Etcher、
有关Particle量测等相关专业服务。
Anatel UP-100/UP-50 厂务端超纯水线上微粒洁净间控. 有关上游纯水供给端或清洗机台管路内(On-line)以及桶槽内(Off-line ; 需PUMP )的particle量测,
本公司有代测以及设备的销售部分.可即时监控液体中的particle的改变, 或了解供给端的洁净度情形, 或使用端的洁净度.
测试范围由0.1 ~ 5.0 um之间皆可; 可任选4个您所期望的 size 量测
or 0.05 ~ 0.1um, 选2个您所期望的 size 量测, 适合DIW, Ultrapure water, All chemical (Include HF acid).
B. ESD静电量测设备、TSI风速计、Rotronic 温湿度计、……等。
C.无尘室NEBB代测、专业谘询、仪器租借等服务。
D. ASYS KTC UV Particle 表面微粒子检测机 (对曝光机; 显影机 及偏光板贴附机台效果最为显着)
其UV 光 是使用用人体无害的 UVA 波长: 356nm
1.对于制程机台上之 有机物质; 油渍; 水渍; 带静电Paricle;毛屑;纤维; 胶类物质Particle 皆可观察
2.无法观察金属屑, 玻璃(可用一般强光灯) 3.若背景为镜面不锈钢 或完全白底 其观察效果较不显着.
4.产生较普通水银灯十倍的UV-A Output
E.美国Matec Applied Sciences超微粒径分析仪提供最新的声波检测原理，Sample不需稀释即可分析出准确的Particle Size，
提供各种不同的Particle分布分析的模式，量测范围从5nm-100um，适合用于CMP Slurny、Ceranincs、lnks、Phsrmaceutic..等。
F. NSK Motor Overhaul Service for Mirra CMP Machine Tool维修。
G.Helmke Drum RTC-3000 无尘衣发尘量测试汉姆克滚筒;符合IEST-RP-003规范。
H.测试擦拭布洁净度Liquid Particle Counter
I.日本INTI ION Counter正负离子计数器测试各种环境下正、负离子的浓度与各种负
离子相关产品的离子产生数量,应用在观察 正负离子在空气中的 验证。
因此在Particle & Defect 方面, 耀群科技提供完整解决的方案, 相信可以成为贵公司最好的技术顾问伙伴。
如需更详细的资料或有关无尘室及Particle量测之任何问题欢迎随时与我连络。
耀群欢迎与各位作机台量测和
经验上的交流与讨论, 另外也欢迎参观耀群在竹北的校正实验室!!
敬颂
陈念晖 Tony Chen 敬启 tony@asys.com.tw
耀群科技 ASYS Corporation
http://asc.diytrade.com/
http://asc.ebigchina.com/
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Tel 886-3-5556675 ext 304 Fax 886-3-5556195
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