| 產品規格︰ | 1 Particle Remote sensor 2 Channel size: a.Model 4803, 0.3micro, 0.1cfm 牌價: 請來電(RS485 or 4-20mA) b.Model 5813, 0.3 micro, 1.cfm 牌價: 請來電(RS485 or 4-20mA) 報價尚未含Pump(真空來源, 可由廠內之廠真空 自行提供) , 可外購一般Pump 2 Particle Remote sensor 4~6 Channel size: : a. Model S2023, 0.3micro, 4chs ; 1cfm 牌價: 請來電(RS485 or 4-20mA) 報價尚未含Pump(真空來源, 可由廠內之廠真空自行提供) , 也可外購一般Pump b. Model S2313, 0.3micro, 6chs ; 1cfm 牌價: 請來電(RS485 or 4-20mA) 內建PUMP 與 LCD 即時data小螢幕 3. 施工安裝費用(配管, 配管材料,訊號線, 工資等), (需再依後續討論後; 方能精準) 4. 軟體: CIMScan(依系統與使用需求之版本而定) 以上需討論詳細細節後; 報價方能精準. PS: 所測的particle 數據; 流量1CFM 會較 0.1CFM 來的精準
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| 產品優點︰ | 1.體積小 2.適合裝設在機台內部 3.可即時傳輸 data 資料. 分析 4.提供貴公司 設備整合 的競爭力;比其他設備商強先一步.洞燭先機^^
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| 主要市場︰ | Cell, Arrey, IC, Wafer, 光罩 |
| 參考單价︰ | 來電 |
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