~AMC簡介
懸浮分子污染物 Airborne Molecular Contaminants空氣中的分子級空氣污染物(或氣載分子污染物,簡稱AMC)和顆粒物一樣會危害產品並直接導致成品率降低。分子級空氣污染物以氣態形式存在,高效空氣粒子篩檢程式(HEPA)或者超高效空氣粒子篩檢程式(ULPA)根本無法過濾掉AMC。所以微電子廠房內分子級空氣污染的控制越來越重要,有效監控可以 保障客戶生產安全及降低風險相關成本。
產品規格︰
AMC簡介
懸浮分子污染物 Airborne Molecular Contaminants 空氣中的分子級空氣污染物(或氣載分子污染物,簡稱AMC)和顆粒物一樣會危害產品並直接導致成品率降低。分子級空氣污染物以氣態形式存在,高效空氣粒子篩檢程式(HEPA)或者超高效空氣粒子篩檢程式(ULPA)根本無法過濾掉AMC。所以微電子廠房內分子級空氣污染的控制越來越重要,有效監控可以 保障客戶生產安全及降低風險相關成本。
產品優點︰ AAT IC離子態 分子態 ppt ppb ppm 在線濃度監控系統 Picarro TVOC