ABB LGR MA AMC TVOC悬浮分子污染物 即时线上监测系统

~AMC简介

悬浮分子污染物 Airborne Molecular Contaminants空气中的分子级空气污染物（或气载分子污染物，简称AMC）和颗粒物一样会危害产品并直接导致成品率降低。分子级空气污染物以气态形式存在，高效空气粒子筛检程式（HEPA）或者超高效空气粒子筛检程式(ULPA)根本无法过滤掉AMC。所以微电子厂房内分子级空气污染的控制越来越重要，有效监控可以 保障客户生产安全及降低风险相关成本。