耀群科技所代理美國HACH ULTRA (Pacific Scientific Instruments)- Particle Counter（微粒子計量器）的興趣。 以下幾點資料作為您評估了解 Particle Counter的參考;監控無塵室, Facility Monitoring System (FMS)全廠微粒子中央監控系統,空調環境,cGMP藥廠,外科手術房,空氣清淨機,濾網, 表面, 真空 / DIW純水/chemical 微塵粒子Particle Counter量測工程 1.美國HACH ULTRA (PSI)是全世界 家也是目前 微粒子偵測系統供應商,1960成立至今已有40年以上的歷史,旗下包括MetOne , ROYCO, HIAC, HYT四個部們,分別供應無塵室,高壓氣體,Hepa/Ulpa洩漏量測及中央監控系統(FMS), DIW純水系統, 化學品, 高粘度光阻及各式油品含潤滑液溶劑,真空製程設備,有關Particle量測,NEBB代測, 租借, 校正等專業相關的服 務。 2.HACH ULTRA 在全世界除了各 大廠都是我們的客戶外–在台灣的客戶群有台積,聯電,華邦,力晶,茂德, 茂矽,南亞科技,通用電子, 碧悠,元太,翰宇彩晶,友達光電,廣達/廣輝,奇美,勝華,勝開,中華映管, 錸德/錸寶, 台灣凸版,瑞儀光電,夏普,日月光, 志聖工業, 氰胺,生達,中化, 永日化學,永信製藥, 勇博工程,九合工程, 龍泰無塵洗衣, 東利眼鏡, 中科院, 工研院,工研院量測中心, 華航,航發中心, 核能廠, 國防醫學院,臺大醫院, 安麗, 工研院能資所, 優加利等等超過600台以上, 涵蓋所有產業。 3.耀群科技在台灣竹北, 台南, 中國上海有完整的校驗維修中心, 所有服務應用工程師都接受HACH ULTRA原廠受訓並取得證書外, 更有一位原廠常駐台灣的 應用人員Bob Latimer在耀群公司直接提供 PSI原廠技術支援, 維修校正的服務, 這是其他提供Particle Counter公司所沒有的。相信對貴公司未來在Particle所造成Defect防制上有更大的助益。 4.耀群科技除了代理Particle Counter之外, 還有 a. 美國Pentagon Technologies 的Surface Particle Detector 應用於設備機台( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) 及進料檢驗 表面微塵粒子Particle量測。 b. 美國DUKE Scientific Corporation提供符合NIST的標準微粒子試劑。 c. 熱線式風速計, 溫溼度計, 照度計, 噪音計等監控無塵室相關測試儀器 耀群科技目前所專業代理服務的產品如下： A.美國HACH ULTRA ANALYTICS是全世界 微粒子偵測系統Particle Counter供應商，品牌包括MetOne、ROYCO、HIAC、HYT， 分別供應無塵室class1~10K、室內空氣品質、高壓氣體、Hepa/Ulpa洩漏量測及監控系統(FMS)、DIW系統、化學品、 高粘度光阻及各式油品含潤滑液溶劑、真空製程設備CVD, Ion Implanter, Furnace, Plasma Etcher、 有關Particle量測等相關專業服務。 Anatel UP-100/UP-50 廠務端超純水線上微粒潔淨間控. 有關上游純水供給端或清洗機台管路內(On-line)以及桶槽內(Off-line ; 需PUMP )的particle量測, 本公司有代測以及設備的銷售部分.可即時監控液體中的particle的改變, 或了解供給端的潔淨度情形, 或使用端的潔淨度. 測試範圍由0.1 ~ 5.0 um之間皆可; 可任選4個您所期望的 size 量測 or 0.05 ~ 0.1um, 選2個您所期望的 size 量測, 適合DIW, Ultrapure water, All chemical (Include HF acid). B. ESD靜電量測設備、TSI風速計、Rotronic 溫濕度計、……等。 C.無塵室NEBB代測、專業諮詢、儀器租借等服務。 D. ASYS KTC UV Particle 表面微粒子檢測機 (對曝光機; 顯影機 及偏光板貼附機台效果最為顯著) 其UV 光 是使用用人體無害的 UVA 波長: 356nm 1.對於製程機台上之 有機物質; 油漬; 水漬; 帶靜電Paricle;毛屑;纖維; 膠類物質Particle 皆可觀察 2.無法觀察金屬屑, 玻璃(可用一般強光燈) 3.若背景為鏡面不鏽鋼 或完全白底 其觀察效果較不顯著. 4.產生較普通水銀燈十倍的UV-A Output E.美國Matec Applied Sciences超微粒徑分析儀提供 的聲波檢測原理，Sample不需稀釋即可分析出準確的Particle Size， 提供各種不同的Particle分佈分析的模式，量測範圍從5nm-100um，適合用於CMP Slurny、Ceranincs、lnks、Phsrmaceutic..等。 F. NSK Motor Overhaul Service for Mirra CMP Machine Tool維修。 G.Helmke Drum RTC-3000 無塵衣發塵量測試漢姆克滾筒;符合IEST-RP-003規範。 H.測試擦拭布潔淨度Liquid Particle Counter I.日本INTI ION Counter正負離子計數器測試各種環境下正、負離子的濃度與各種負 離子相關產品的離子產生數量,應用在觀察 正負離子在空氣中的 驗證。 因此在Particle & Defect 方面, 耀群科技提供完整解決的方案, 相信可以成為貴公司 技術顧問夥伴。 如需更詳細的資料或有關無塵室及Particle量測之任何問題歡迎隨時與我連絡。 耀群歡迎與各位作機台量測和 經驗上的交流與討論, 另外也歡迎參觀耀群在竹北的校正實驗室!! 敬頌 陳念暉 Tony Chen 敬啟 tony@asys.com.tw 耀群科技 ASYS Corporation http://asc.diytrade.com/ http://asc.ebigchina.com/ http://www.asys.com.tw/ Tel 886-3-5556675 ext 304 Fax 886-3-5556195 Mobile Phone: 886-920841382