ABB LGR MA AMC TVOC懸浮分子污染物 即時線上監測系統

~AMC簡介

懸浮分子污染物 Airborne Molecular Contaminants空氣中的分子級空氣污染物（或氣載分子污染物，簡稱AMC）和顆粒物一樣會危害產品並直接導致成品率降低。分子級空氣污染物以氣態形式存在，高效空氣粒子篩檢程式（HEPA）或者超高效空氣粒子篩檢程式(ULPA)根本無法過濾掉AMC。所以微電子廠房內分子級空氣污染的控制越來越重要，有效監控可以 保障客戶生產安全及降低風險相關成本。